เซมิคอนดักเตอร์ปั๊มยูวีเลเซอร์ตัดเครื่อง Air Cooled 355nm

       เครื่องตัดแต่งเลเซอร์สำหรับเซนเซอร์

1.สรุป

เครื่องตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์ของ Wuhan Questt ASIA Technology Co., Ltd. ได้รับการพัฒนาและผลิตขึ้นเป็นพิเศษสำหรับวงจรฟิล์มหนาและอุตสาหกรรมวงจรฟิล์มบางการตัดแต่งแหล่งที่มา (การปรับความต้านทาน) และการตัดแต่งแบบแอ็คทีฟ (การปรับฟังก์ชั่นวงจร) ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการตัดแต่งที่มีความแม่นยำสูงของฟิล์มบาง ฟิล์มหนา วงจรรวมไฮบริด และโมดูลอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ ที่เกี่ยวข้องกับอุตสาหกรรมต่อไปนี้:

l l ยานยนต์อิเล็กทรอนิกส์

ล.เซ็นเซอร์

l l อิเล็กทรอนิกส์สื่อสาร

l l อุตสาหกรรมทหารอยู่ในการวิจัยทางวิทยาศาสตร์

l l การแพทย์

l l อิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรม

l lAerospace

เครื่องตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์ที่ผลิตโดยบริษัทของเราได้รับการพัฒนาอย่างอิสระจากระบบควบคุมการวัดหลัก ระบบซอฟต์แวร์ ฯลฯ และมีสิทธิ์ในทรัพย์สินทางปัญญาที่เป็นอิสระทั้งหมด ซึ่งสามารถให้บริการลูกค้าด้วยโซลูชันการใช้งานการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์แบบครอบคลุม

2.รุ่นและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

เครื่องตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์ LT7 series เป็นเครื่องตัดแต่งความต้านทานเลเซอร์ประเภทการกำหนดค่าระดับไฮเอนด์ที่เปิดตัวโดย Wuhan Questtผลิตภัณฑ์ซีรีส์ LT7 ใช้เลเซอร์พิเศษขั้นสูงสำหรับการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์

ความแม่นยำสูงของการปรับความต้านทาน

• เครื่องทั้งหมดมีความแม่นยำในการปรับความต้านทานสูงและความแม่นยำในการปรับความต้านทานนั้นสม่ำเสมอและให้ผลตอบแทนสูง
• lLT7 ใช้เลเซอร์ชนิดพิเศษสำหรับการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์ ซึ่งให้ลำแสงเลเซอร์ที่มีคุณภาพลำแสงสูงและความกว้างของเส้นที่ละเอียดมาก และเอฟเฟกต์ความร้อนจากเลเซอร์มีขนาดเล็ก
• l โหมดควบคุมความแม่นยำเฉพาะ เทคโนโลยีการขุดความเร็วตัวแปรที่เป็นกรรมสิทธิ์
• l ฟังก์ชันการตัดแบบมีดปรับความต้านทานได้หลากหลาย

การปรับความต้านทานอย่างรวดเร็ว

• ซอฟต์แวร์มีฟังก์ชันการปรับแบบหยาบและการตั้งค่าการปรับแบบละเอียด ซึ่งสามารถกำหนดความสัมพันธ์ตามสัดส่วนระหว่างการปรับแบบหยาบและการปรับแบบละเอียดตามลักษณะของความต้านทาน ซึ่งช่วยปรับปรุงความเร็วในการปรับความต้านทานได้อย่างมีประสิทธิภาพภายใต้เงื่อนไขการรับประกันความถูกต้อง
• l เวลาในการวัดความเร็วสูง, เวลาในการวัดเพียงครั้งเดียวคือ 25us เท่านั้น
• l กลไกขั้นตอนและทำซ้ำที่มีความแม่นยำสูง: ใช้แพลตฟอร์มมอเตอร์เชิงเส้น ความเร็วในการเคลื่อนที่และความเร่งนั้นรวดเร็วมันสามารถรับรู้การปรับความต้านทานหนึ่งรอบของวงจรหลายหน่วย
• l การยกบอร์ดโพรบความเร็วสูง: ปรับปรุงประสิทธิภาพการประมวลผลอย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการปรับความต้านทานแบบวนรอบของวงจรหลายหน่วย

ฟังก์ชั่นที่แข็งแกร่ง

• lด้วยฟังก์ชันการเขียนโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่มีประสิทธิภาพในอุตสาหกรรม สามารถปรับให้เข้ากับการปรับความต้านทานและการปรับฟังก์ชันต่างๆ ของโมดูลอิเล็กทรอนิกส์ และตระหนักถึงความต้องการพิเศษของลูกค้าและการทำงานอัตโนมัติระดับสูงได้อย่างง่ายดาย
• lนอกจากการวัดค่าความต้านทานและแรงดันไฟฟ้าพื้นฐานแล้ว ด้วยโมดูลพิเศษภายนอกแล้ว สัญญาณการวัดยังสามารถเป็นสัญญาณกระแส ความถี่ การผกผัน และสัญญาณอื่นๆ
• l การควบคุมอัตโนมัติแบบเป็นโปรแกรมของกำลังเลเซอร์ การเคลื่อนไหว ช่วงการวัด ฯลฯ สามารถรับรู้ได้
• lProbe แกน Z, เลเซอร์โฟกัสแกน Z การเคลื่อนไหวควบคุมมอเตอร์อัตโนมัติ, ตั้งโปรแกรมได้
• lฟังก์ชั่นฐานข้อมูลที่มีประสิทธิภาพ กระบวนการผลิตทั้งหมดจะถูกบันทึกและตรวจสอบย้อนกลับได้
• l ฟังก์ชั่นการเตือนของผลิตภัณฑ์ที่ไม่ผ่านการรับรองสามารถป้องกันผลิตภัณฑ์ที่ไม่มีเงื่อนไขไม่ให้ไหลเข้าสู่กระบวนการต่อไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ
• l พิกัดตำแหน่งจะได้รับแบบเรียลไทม์ผ่านรูปภาพ ซึ่งใช้งานง่ายและปรับปรุงความแม่นยำในการวางตำแหน่งของผลิตภัณฑ์

ความน่าเชื่อถือและความมั่นคงสูง

• ส่วนประกอบหลักนำเข้าเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพ
• การใช้แท่นหินแกรนิตแบบพิเศษ: สามารถลดแรงสั่นสะเทือนเฉื่อยที่เกิดจากการสตาร์ท หยุด และเร่งความเร็วของโต๊ะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในขณะเดียวกันก็สามารถรักษาเสถียรภาพอุณหภูมิของเครื่องได้

ค่าใช้จ่ายในการดำเนินงานและบำรุงรักษาต่ำ

• ประสิทธิภาพสูง ใช้พลังงานต่ำ และประหยัดต้นทุน

ประสิทธิภาพการแปลงแสงเลเซอร์ด้วยไฟฟ้าถึง 25% และการใช้พลังงานเฉลี่ยต่อวันน้อยกว่า 10 องศา ซึ่งเท่ากับ 1/10 ของหลอดแฟลชแบบเดิมที่สูบด้วยเลเซอร์โซลิดสเตตการใช้งานในระยะยาวสามารถประหยัดพลังงานของผู้ใช้ได้มาก ลดการปล่อยคาร์บอน อายุการใช้งานยาวนาน ประสิทธิภาพสูง เสถียรและไม่ต้องบำรุงรักษา ลดเวลาหยุดทำงาน

3.เลเซอร์ทริมเมอร์โซลูชั่น

• หลักการของการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์

หลักการของการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์คือการใช้ลำแสงเลเซอร์ที่ละเอียดมากในการชนตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบาง และตระหนักถึงการตัดวงจรฟิล์มหนาและบางโดยการทำให้ตัวตัวต้านทานกลายเป็นไอลำแสงเลเซอร์จะตัดตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบางตามโปรแกรมที่กำหนดโดยคอมพิวเตอร์ และเปลี่ยนค่าความต้านทานของตัวต้านทานโดยการเปลี่ยนรูปทรงเรขาคณิตของตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบางในขณะที่กระบวนการตัดด้วยเลเซอร์ดำเนินไป วงจรการวัดแบบเรียลไทม์จะตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงของค่าความต้านทานของตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบางแบบเรียลไทม์ และค่าความต้านทานของตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบางจะเข้าใกล้ค่าความต้านทานเป้าหมายอย่างต่อเนื่องนั่นคือ กระบวนการตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์ได้เกิดขึ้นแล้ว

เมื่อใช้ตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาในโมดูลอิเล็กทรอนิกส์ การปรับเปลี่ยนฟังก์ชันของโมดูลอิเล็กทรอนิกส์สามารถทำได้โดยการปรับการเปลี่ยนแปลงความต้านทานเพื่อให้สัญญาณเอาต์พุตของโมดูลอิเล็กทรอนิกส์เปลี่ยนไปด้วย

การตัดแต่งความต้านทานด้วยเลเซอร์จะเปลี่ยนพื้นที่หน้าตัดที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและความยาวที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าของตัวตัวต้านทาน และสามารถตัดแต่งตัวตัวต้านทานให้ต่ำกว่าค่าความต้านทานเป้าหมายเป็นช่วงความแม่นยำที่ต้องการ

การวาดโครงร่างอุปกรณ์ (ขึ้นอยู่กับวัตถุจริง)

(1)．ระบบเลเซอร์

ใช้สำหรับตัดตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาและบาง เป็น "มีดเบา" สำหรับการตัดตัวต้านทานเครื่องนี้ใช้เลเซอร์พิเศษขั้นสูงสำหรับการปรับความต้านทานด้วยเลเซอร์ โดยมีคุณภาพลำแสงที่ดี กำลังสูงสุดสูง และคุณภาพรอยบากที่ยอดเยี่ยมขนาดเล็กและกะทัดรัด ระบายความร้อนด้วยอากาศ มีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือสูงซึ่งไม่พบในเลเซอร์ชนิดอื่นแหล่งปั๊มของอุปกรณ์หลัก คริสตัล สวิตช์ Q ฯลฯ ล้วนนำเข้ามาทั้งหมด

เลเซอร์พิเศษสำหรับตัดขอบด้วยเลเซอร์

(2)．ระบบกำหนดตำแหน่งลำแสงเลเซอร์

ใช้เพื่อระบุตำแหน่งของลำแสงเลเซอร์และการควบคุมการติดตามการเคลื่อนไหว (เส้นทางตัด)ใช้ระบบกัลวาโนมิเตอร์ที่มีความแม่นยำควบคุมตำแหน่งของลำแสงในทิศทาง X และ Yลดระยะเวลาการวางตำแหน่งลำแสงและเวลาตัดแต่ง ประสิทธิภาพการทำงานสูง ความเร็วสูง และความแม่นยำสูง

แม่นยำ Galvo

(3)．ระบบกำหนดตำแหน่งภาพ CCD

ระบบภาพพร้อมเลนส์เฉพาะและ CCDเทคโนโลยีการถ่ายภาพด้วยเลเซอร์โคแอกเซียลถูกนำมาใช้เพื่อให้แน่ใจว่าจุดเป้าหมายเลเซอร์และจุดเป้าหมายของการถ่ายภาพซ้อนทับกันภายในช่วงการสแกนด้วยเลเซอร์

ซอฟต์แวร์การจดจำภาพที่นำเข้านั้นใช้เพื่อให้ได้ตำแหน่งภาพอัตโนมัติผ่านการจับคู่ภาพ

(4)．แพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวทางกลแบบขั้นตอนและซ้ำ

ใช้ระบบมอเตอร์เชิงเส้นที่มีความแม่นยำนำเข้าและไม้บรรทัดตะแกรงถูกควบคุมแบบวงปิดความแม่นยำในการเคลื่อนที่สูงและความเร็วที่รวดเร็ว ซึ่งช่วยเพิ่มอัตราเร่งในการเคลื่อนที่ได้อย่างมากมันสามารถตระหนักถึงการโหลดและขนถ่ายที่สะดวก และการปรับความต้านทานแบบวนรอบความเร็วสูงของวงจรหลายยูนิตซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตอย่างมากคุณสมบัติความเร็วสูงและความแม่นยำสูง..

(5)．ระบบการวัด

การวัดความต้านทานใช้วิธีของระบบสี่สายบวกกับการวัดกระแสและการวัดแรงดันมีแหล่งกำเนิดกระแสคงที่ที่มีความแม่นยำสูงหลายแหล่ง และสามารถจับคู่ช่วงที่สอดคล้องกันของความต้านทานแต่ละตัวได้โดยอัตโนมัติเพื่อให้ได้ความแม่นยำในการวัดที่ดีที่สุดโดยทั่วไป การวัดความต้านทานจะใช้โพรบต่อไปนี้ โพรบพิเศษสำหรับบัดกรีบอร์ดใช้สำหรับการวัดระบบการวัดสามารถสอบเทียบได้โดยอัตโนมัติโดยใช้แผงความต้านทานมาตรฐานภายนอกอินเทอร์เฟซ GPIB เสริมสำหรับการควบคุมเครื่องมือภายนอกหรือการวัด

การปรับฟังก์ชันโมดูลอิเล็กทรอนิกส์โดยทั่วไปมีวิธีการวัดโพรบพิเศษสำหรับคุณลักษณะของผลิตภัณฑ์

(6)．ระบบเลเซอร์โฟกัส

ทางยาวโฟกัสของเลเซอร์ถูกควบคุมโดยคอมพิวเตอร์โดยตรงโดยการตั้งค่าจุดศูนย์ทางยาวโฟกัสและป้อนความหนาของชิ้นงาน โฟกัสจะรับรู้ได้โดยอัตโนมัติฟังก์ชันนี้สามารถปรับความต้านทานของผลิตภัณฑ์ตัวต้านทานแบบฟิล์มหนาประเภทต่างๆ ได้ ซึ่งช่วยปรับปรุงช่วงการใช้งานและประสิทธิภาพของเครื่องปรับความต้านทานด้วยเลเซอร์

(7)．โพรบการเคลื่อนไหว

การเคลื่อนไหวของหัววัดถูกควบคุมโดยมอเตอร์ความเร็วสูง สามารถกำหนดระยะการวิ่งได้ตามใจชอบ และฟังก์ชั่นการควบคุมการเขียนโปรแกรมสามารถรับรู้ได้

(8)．ระบบซอฟต์แวร์

· ซอฟต์แวร์แอปพลิเคชันที่ทรงพลังบนแพลตฟอร์ม WINDOWS

· ด้วยฟังก์ชันการเขียนโปรแกรมซอฟต์แวร์ที่มีประสิทธิภาพในอุตสาหกรรม สามารถปรับให้เข้ากับการปรับความต้านทานและการปรับฟังก์ชันต่างๆ ของโมดูลอิเล็กทรอนิกส์ และตระหนักถึงความต้องการพิเศษของลูกค้าและการทำงานอัตโนมัติระดับสูงได้อย่างง่ายดาย

· ฟังก์ชั่นฐานข้อมูลที่มีประสิทธิภาพ กระบวนการผลิตทั้งหมดจะถูกบันทึกและตรวจสอบย้อนกลับได้

· ซอฟต์แวร์ของผลิตภัณฑ์ที่ไม่ผ่านการรับรองจะเปลี่ยนสีและเน้นที่ฟังก์ชันพร้อมท์ ซึ่งสามารถป้องกันผลิตภัณฑ์ที่ไม่ผ่านการรับรองไม่ให้ไหลเข้าสู่กระบวนการถัดไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ

· พิกัดตำแหน่งจะได้รับแบบเรียลไทม์ผ่านรูปภาพ ซึ่งใช้งานง่ายและปรับปรุงความแม่นยำในการวางตำแหน่งของผลิตภัณฑ์

· แพลตฟอร์มการวัดแบบมัลติฟังก์ชั่นสามารถรับรู้ได้ด้วยการตั้งโปรแกรม และมีฟังก์ชั่นการวัดและการเรียงลำดับความต้านทาน

4.การกำหนดค่าหลักของอุปกรณ์เครื่องเดียว

4.พารามิเตอร์ทางเทคนิค

1．ระบบเลเซอร์

• lความยาวคลื่นเลเซอร์: 1064nm
• lกำลังเลเซอร์เฉลี่ย: 6W@10KHZ (TEM00)
• ล. ขนาดจุดทั่วไป: 30-40µm
• lโหมดโฟกัส: การควบคุมโปรแกรมคอมพิวเตอร์

2. ระบบกำหนดตำแหน่งลำแสงเลเซอร์

• lLaser การสแกนช่วง: 60 มม. X 60 มม.
• l ความถูกต้องของตำแหน่งซ้ำ: 2.5µm
• lLaser beam motion ความละเอียด: 1µm
• l ความเร็วในการสแกนสูงสุด: 7000mm/s
• l วิธีการกำหนดตำแหน่ง: ตำแหน่งที่ตั้งโปรแกรมได้หรือการรู้จำภาพตำแหน่งอัตโนมัติ

3. ระบบเฝ้าระวังภาพ

• l วิธีการตรวจสอบ: การตรวจสอบด้วยเลเซอร์โคแอกเซียล
• lเทคโนโลยีที่เป็นกรรมสิทธิ์: เทคโนโลยีที่ไม่มีสี, เลเซอร์และภาพซ้อนทับกันในรูปแบบ
• ล. มุมมองภาพการตรวจสอบ: 4-6 มม. (แนวทแยง)
• lแหล่งกำเนิดแสง: ไฟ LED

4. ระบบการวัด

• l วิธีการวัดความต้านทาน: เพิ่มกระแสเพื่อวัดแรงดัน

ระบบสี่สายควบคุมโปรแกรมคอมพิวเตอร์ระบบสองสาย

• lโหมดการวัดความต้านทาน: การตั้งค่าโหมดสามความเร็ว, การควบคุมที่ตั้งโปรแกรมได้
• l ช่วงการวัดความต้านทาน: 0.1Ω-100MΩ (ความละเอียด 16 บิต)
• l ความแม่นยำในการวัดค่าความต้านทาน:

0.1Ω< Rx < 100Ω ±0.02% + 0.5% / Rx

100Ω< Rx < 100KΩ ±0.02%

100KΩ< Rx < 100MΩ ±0.02% + 0.05% * Rx

• l ความเร็วในการวัดความต้านทาน: 25µs
• ความละเอียดแรงดันไฟฟ้า lDC: 0.16µV (ภายใต้สภาวะเต็มสเกล 10mV)
• lProbe board: 48PIN, คำจำกัดความใดๆ, เข้ากันได้กับ ESI นำเข้าอุปกรณ์
• l การเคลื่อนไหวของบอร์ดโพรบ: การควบคุมโปรแกรมคอมพิวเตอร์
• l ช่วงการวัดแรงดันไฟฟ้า: ±100mV~ ±10V ความละเอียด 16 บิต (ช่วงอื่นๆ เป็นตัวเลือก)

5. ระบบคอมพิวเตอร์และซอฟต์แวร์

• lซอฟต์แวร์ที่ตั้งโปรแกรมได้ สามารถรับรู้การทำงานอัตโนมัติได้อย่างยืดหยุ่น ตอบสนองการปรับความต้านทานและการปรับฟังก์ชันวงจร
• lฟังก์ชั่นฐานข้อมูล ข้อมูลการปรับความต้านทานทั้งหมดสามารถเขียนไปยังฐานข้อมูลเพื่อการจัดเก็บ โดยมีการตรวจสอบย้อนกลับที่ดี
• l ความต้านทานสามารถควบคุมได้ด้วยการควบคุมชิปตัวเดียวแบบแมนนวล และยังสามารถปรับโดยอัตโนมัติด้วยเมทริกซ์แบบต่อเนื่อง (การประมวลผลชิปแบบต่อเนื่อง)
• lการปรับความต้านทานที่แม่นยำสามารถทำได้โดยการตั้งค่าวิธีการปรับความต้านทานจุดด้วยเลเซอร์
• lตามความแตกต่างของค่าความต้านทานเริ่มต้น พารามิเตอร์การปรับความต้านทานที่แตกต่างกันสามารถเลือกเพื่อทำการปรับความต้านทานได้

6. ระบบการเคลื่อนไหวทางกลแบบขั้นตอนและซ้ำ

• lโหมดการเคลื่อนไหว: ระบบการเคลื่อนที่เชิงเส้นของมอเตอร์
• lช่วงการเคลื่อนไหว: 300mm*300mm
• lขนาดพื้นผิวเซรามิกสูงสุด: 150mm*150mm
• lความละเอียดของการเคลื่อนไหว: 1µm
• l ความแม่นยำในการทำซ้ำ: ±1µm
• l ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง: ±10µm
• lความเร็วสูงสุด: 1000mm/s (ไม่มีโหลด)
• l การเร่งการเคลื่อนที่: 1.5G

7. ตัวชี้วัดทางเทคนิคอื่นๆ

• l วิธีการทำความเย็น: ระบายความร้อนด้วยอากาศ
• l แรงดันไฟฟ้าของแหล่งจ่ายไฟ: 220V AC แรงดันอากาศ: <0.4MPa การใช้พลังงานของเครื่องทั้งหมด: 2500W